プラズマクリーナーの仕組みやメリット

細い配線が組み込まれている電子回路や、純度の高いシリコン基板を製造するような現場では、製品の表面に付着している有機物を除去しなければなりません。このような目的で使われるものがプラズマクリーナーと呼ばれる装置です。プラズマクリーナーとはハイテクの産業では欠かすことができないものであり、これまでには考えられなかったような方法でクリーニング作業を行うことができます。プラズマクリーナーはどのような仕組みになっているのかと言うと、減圧されたところでガスを封入し、電極に高電圧をかける仕組みです。

電圧をかけるとガスを構成している原子からは電子が飛び出しますが、これがプラズマ状態になることにより、イオンやラジカルが発生します。ラジカルとは化学的に非常に不安定であり反応性が高い物質です。他の物質を酸化させることで安定しようとする性質があるので、これを応用するのです。プラズマクリーナーの一番のメリットにあげられることは、洗浄液や洗剤などを使わなくても、乾燥した環境で不純物だけを除去できることです。

それだけではなく容器の中の圧力や封入するガスの種類を変えれば、シリコンなどといった無機材料の表面処理をすることもできます。一般的にシリコンなどといった無機材料の表面は溶かして処理を行うことから、危険な薬品を使わなければならないケースがほとんどです。プラズマクリーナーを使えば、有害な物質が発生することもないので、環境にかかる負荷も軽減することができるでしょう。

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