プラズマクリーナーの仕組み・メカニズムとは

医療器具・精密回路・食品関連の製品などの表面を洗浄する目的で、プラズマクリーナーが用いられています。この装置は溶剤や洗浄液を一切使用することなく、製品の表面に付着した不純物を除去することができるという特徴があります。プラズマクリーナーの仕組みですが、減圧下でガスに高電圧をかけることでプラズマ状態の電離ガスが発生します。プラズマとは気体分子がイオン化されてバラバラに分解された状態のガスで、化学に非常に不安定であるという特徴があります。

化学的に不安定なプラズマガスは、安定した状態に戻ろうとして周囲にある物質を酸化させる作用を持ちます。電離ガスは油分などの有機物と反応しやすいので、製品の表面に付着した不純物を酸化させることができます。プラズマガスによって酸化された不純物は気体に分解・蒸散されて、洗浄を行うことができる仕組みです。プラズマガスは反応性が高いため、大気と反応するとすぐに消滅してしまいます。

生成されたプラズマガスを効率的に対象物に照射させるために、プラズマクリーナーの多くは専用の減圧容器内で処理を行う必要があります。処理前に減圧容器内に製品を入れてから、真空ポンプを使って空気を抜いた後にプラズマを発生させて洗浄作業を行います。作業後は容器内に空気を入れて大気圧に戻し、製品を取り出します。低温プラズマ装置を利用すれば、合成樹脂などのように熱に弱い素材で作られた製品の洗浄作業ができます。

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