プラズマ洗浄装置の特徴

プラズマ洗浄装置とは、表面改質による印刷やコーティング剤の密着を高め、レンズや医療処置具などの改善や生産性を大幅に向上させる事を目的とした装置は半導体を始め、電子材料やドライ洗浄の分野で大きく注目されています。そもそもプラズマとは、気体に連側的なエネルギーを加える事で発生する状態です。例えば物質は温度が上昇すると個体・液体・気体へと変化します。その気体に続く第四の気体と言われています。

その仕組みは簡単に説明すると電離によって生じた現象のことで、これにより荷電子粒子を含む気体のことを差します。プラズマ洗浄装置はそのプラズマの働きを利用したものです。種類は大きく分けて低圧プラズマと大気プラズマがあります。大気圧はイオンの密着度が高い特徴があります。

また発生を促すために、木希ガスや酸素などのガスも必要となります。一方低プラズマでは、真空環境は必要となりますがガスを必要としません。また電極間の距離をある程度離しても照射できるので、処理がワーク形状に依存しません。プラズマ洗浄装置の効果は、密着性や表面改質が挙げられます。

また洗浄にも優れ、プラズマ形成された荷粒子などを汚染物質の結合を分解します。二酸化炭素や水などに、有機汚染物質と化学反応する事で分解反応され除去されます。現在では、作業の改善やコスト削減にもつながる事でも注目を集めています。自動車や航空機産業などにも幅広く使用され、医療機器などの洗浄やコーティングの際にも用いられています。

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