プラズマ装置の必要性

基板の表面には、不純物が付着することで電流の流れを抑制しうまく電流を受け流すことができない問題という物が存在しています。そこで、基板の表面をきれいに清掃することを目的とした機器がプラズマ装置になるのです。プラズマ装置は、意図的にプラズマを発生させることで不純物の身を静電気の力で取り去ることを目的とした機器です。不純物は、プラズマが引き寄せたうえで真空ポンプを用いることで外に不純物を排出するのがプラズマ装置のおおよその内部構造になります。

この装置の利点は、洗浄剤という特殊な引火性物質を使用することなく基板表面をきれいにすることが可能である点です。旧来は引火性の高い物質で電子回路の表面を清掃することで不純物を取り除いていましたがこの方式は、万が一引火性物質に火が付いた場合、電子回路ごと炎により焼失してしまうという問題があったのです。そこで、有用な方法として静電気の力で不純物を浮きあがらせ、真空引きという方法で不純物を体外に排出する装置であるプラズマ装置が生み出されました。この装置を用いれば、引火性の高い物質や人体に有害である容積を使用せずに基板の表面に付着したごみを取り除くことができます。

特に、特定の金属の身を剥離させるなども可能であるのがこの装置の特性であるため、電子回路製造時に不純物となり得る金属をピンポイントに取り去ることも可能となります。プラズマ装置とは、電子回路を構成するうえで必要な装置となります。

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