プラズマ装置が対応できる汚れとは

プラズマ装置はプラズマクリーナーとも呼ばれており、半導体など精密機器を製造する際に生じる細かな汚れを取り除くために使われています。この装置はドライ洗浄を行うため、ウェット洗浄のような薬液を使用しません。汚れを取り除いた後で薬液を洗い流して乾燥させる工程が不要なので、短時間で作業が完了します。プラズマ装置を使えば、精密機器の品質と生産性を大幅に向上させることができます。

この装置には2種類の処理方式がありRIEモードは有機物と無機物の両方に対応していますが、DPモードは有機物にのみ対応しています。プラズマ装置は処理方式の違いに関わらず、減圧されたチャンバー内で高周波電力によって電極間に印加します。RIEモードではアルゴン原子が電離されてアルゴンイオンと電子が生じ、DPモードでは酸素分子から酸素原子が分かれます。物質にエネルギーを供給し続けると固体から液体、気体へと変化して最後にプラズマと呼ばれる状態になります。

プラズマとは分子がプラス電荷のイオンとマイナス電荷の電子に分かれた状態を指します。微細な汚れを取り除くプラズマ装置は、プラズマが発生する過程で生じるイオンや原子を使います。RIEモードでは、加速されたアルゴンイオンが製品の表面に付着した有機物や無機物に衝突します。DPモードでは酸素分子から分かれた酸素原子が製品表面の有機物と化学反応を起こし、二酸化炭素と水分子になります。

プラズマ装置は汚れの種類に応じて使い分けが必要ですが、両方の処理方式を備えたタイプならば切り替えて即座に対処できます。

シェアする

  • このエントリーをはてなブックマークに追加

フォローする