プラズマ装置は表面処理を行います

プラズマは気体を構成する分子が、外部エネルギーによって電離や解離、励起など高いエネルギー状態になったものです。高いエネルギーを利用して産業分野では、光や熱、化学反応に応用されています。化学反応性を応用しながら、さまざまな表面処理や表面加工を行うことが可能です。プラズマ装置はまず気体を電磁波でプラズマ化します。

真空下において気体に電磁波を照射し、気体を電離したり解離し、励起などの高エネルギー状態であるプラズマにすることが可能です。電磁波にマイクロ波を利用することによって、一般的なプラズマ種よりも高密度なプラズマ生成ができます。発生させたプラズマを対象にあて、対象物にダウンフローによって輸送したり照射します。プラズマでの表面処理を行い、材料表面と化学反応を起こして処理を行うことが可能です。

材料表面の炭素に酸素プラズマ2つを食わると、CO2である二酸化炭素ガス化して除去する仕組みです。プラズマ装置を利用すると、プロセスガスの種類によりいろいろな表面処理が可能になります。プラズマ化する気体やプロセスガスなどの種類により、プラズマの特性は異なるでしょう。気体の種類を変えると、いろいろな表面処理が可能です。

プラズマ装置から、ムラのない均一な表面処理を実現することができ、装置を量産ラインに適用することができます。業者に依頼すると、装置化やアプリケーション開発などさまざまなニーズに対応してくれます。

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